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安捷伦真空:离子泵使用tips一网打尽

字号+作者:admin 来源:循环泵 2021年10月01日

什么时候应该选择离子泵? 离子泵具有封闭抽气、可耐高温烘烤、没有运动部件,长期工作的可靠性高、在超高真空下的寿命很长等特点,这些特点使得其特别适合用于:超高真空、需...

什么时候应该选择离子泵?
离子泵具有封闭抽气、可耐高温烘烤、没有运动部件,长期工作的可靠性高、在超高真空下的寿命很长等特点,这些特点使得其特别适合用于:超高真空、需要高温烘烤的应用、对振动敏感的应用、对可靠性要求很高的应用等。

应该选择二极泵还是三极泵?
型号的选择取决于被抽气体类型。
安捷伦Diode二极泵对氧气、氮气、二氧化碳、一氧化碳以及其他活性气体具有很高的抽速,而对甲烷、氩气和氦气等非活性气体抽速很小,适用于工作在超高真空,很少破空并且没有惰性气体的应用。
StarCell是优化的三极泵结构,对甲烷、氩气和氦气等非活性气体具有很高的抽速和容量,同时对活性气体也具有较高的抽速;该型号的独特设计使其成为一款可以同时处理惰性气体和活性气体的离子泵,适用于经常破空或者有惰性气体残留的应用。
如何确定需要负高压还是正高压的控制器?
安捷伦Diode二极离子泵在正高压下运行,StarCell三极离子泵在负高压下运行。
应该在什么压力启动离子泵?
离子泵的最高启动压力可以从产品样本上找到,不过为了尽量延长离子泵的使用寿命,建议在1E–6mbar或更低压力时启动离子泵。
离子泵的寿命与操作压力成反比。比如,在1E–6mbar时,大部分安捷伦二极离子泵的使用寿命为50,000小时,StarCell离子泵的使用寿命为80000小时,而在1E-4mbar时,寿命仅为上面数值的1/100。
是否需要为离子泵安装加热器?
为了使真空室达到更低的极限压力,建议在离子泵上安装加热器,在泵启动前的预抽阶段对泵进行烘烤,烘烤可以加快离子泵中所捕获的气体的释放,使泵从饱和状态回到不饱和状态。
能否更换离子泵内的抽气单元?
由于成本和空间的限制,一般比较小的离子泵的抽气单元是无法取出更换的。安捷伦生产的150L/s及以上的离子泵可以单独更换泵内的抽气单元。
用于微型离子泵和小型离子泵的磁体为何需要单独订购?
磁体是单独提供的,因为更换离子泵后,磁体可以重复使用。
能否将离子泵当作真空计,读取真空室内的真空度?
安捷伦4UHV和IPCMini控制器的预设程序会自动将任意离子泵的当前电流读数转换为压力。它们的高电流分辨率(4UHV为10nA,IPCMini为1nA)可确保在低压范围内得到准确读数。将离子泵用作真空计的最佳方式是,向泵施加低电压(3kV),以减少漏电流的影响。
4UHV和IPCMini离子泵控制器使用的是哪种远程通讯?
标准4UHV:RS232/485和I/O信号。还可以定制Profibus和以太网版本。
标准IPCMini:RS232/485,I/O信号。可以定制以太网版本。
什么是Step模式?
为优化离子泵的抽速,最大程度减小漏电流的影响,安捷伦为离子泵控制器开发了Step模式。该模式下控制器可以根据离子泵消耗的电流和离子泵大小,将电压自动切换至3kV、5kV或7kV。
如何选择离子泵控制器的功率?
离子泵工作所需要的功率跟压力和泵的大小有关。较大的泵在较高压力启动时,需要使用功率更高的控制器,如4UHV(80或200W);较小的泵在较低压力启动时,使用功率较小的控制器即可,如IPCMini(40W)。
比如,在10^–5mbar下使用200W可以轻松启动500L/s的离子泵。而对于中等大小的离子泵(75L/s),只需不到80W即可在相同压力下启动。40W的功率可以使75L/s的离子泵在10^–6mbar下轻松运行,或在典型离子泵运行范围内(低于1×10^–6mbar)操作500L/s的离子泵。
能否提供比标准电缆更长的电缆?
可以。请联系安捷伦真空了解更多详细信息。
为何选择TSP(钛升华泵)/NEG(吸气剂泵)复合离子泵?
由于钛升华泵或吸气剂泵可以提供很大的抽速,在UHV系统中,通常使用钛升华泵或者吸气剂泵作为泵送活性气体(如氦气和氮气)的有效手段,但是,钛升华泵或者吸气剂泵对非活性气体(如氩气和甲烷)几乎没有抽速。由于Starcell三极离子泵对非活性气体有较好的抽气作用,通常将TSP或NEG与Starcell结合使用。安捷伦可以提供与钛升华泵复合的CombiTSP离子泵或与吸气剂泵复合的CombiNEG离子泵。
吸气剂复合型离子泵和钛升华泵复合型离子泵怎么选?
两者都可以大大提高离子泵对活性气体的抽速,主要区别是吸气剂复合型离子泵尺寸更紧凑,但是可以破大气的次数有限,适合长期(半年以上)保持超高真空的应用;而钛升华泵复合型离子泵破大气后不会影响泵的寿命,更适合需要经常破大气(平均每3个月或更短时间破1次)的应用。

参考资料

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